美國ALICAT 質(zhì)量流量計M-500SLPM， M系列

Alicat M系列質(zhì)量流量計

快速質(zhì)量流量控制器和儀表使過程控制和校準過程更加高效。Alicat提供多種方法來定制您的氣體流量計或控制器，以用于低壓降，高壓或腐蝕性應用。標準功能包括實時讀數(shù)，快速閥門響應和多氣體校準。大多數(shù)型號可以定制，流速高達5000 slpm或低至2.5sμlm/ 0.0025 sccm。

產(chǎn)品特點：

● 數(shù)字化產(chǎn)品

● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

● 多參數(shù)控制，如體積流量、質(zhì)量流量和壓力

● 標配三種控制方式：數(shù)字、模擬和本地面板

● 可選高精度：優(yōu)于0.5%

● 高量程比 200:1

● 響應時間快 僅需100ms

● 內(nèi)置98種氣體

● 可現(xiàn)場標定混合氣體，并存儲20種混合氣

應用：

● 大學/研究所

● 環(huán)境監(jiān)測

● 真空行業(yè)及鍍膜

● 工業(yè)爐窯

● 半導體

● 汽車制造

● 光伏

● 燃料電池

● 計量

● 過程工藝氣體測量

精度：± (0.8%Rdg + 0.2%F.S)

高精度（可選型）：± (0.4%Rdg + 0.2%F.S)

內(nèi)部最大工作壓力 （可選高壓）：145 psig

數(shù)字輸出信號：RS-232 或 RS-485 PROFIBUS