Ashcroft HPX40/50/63 超高純壓力表
基本信息:經超聲波清洗,為超高純度氣體輸送系統設計 ,不銹鋼結構和接液元件適用于半導體、電子制造工業氣體應用。
主要特征
連接與工藝:VCR? 型螺紋密封連接,無氧密封焊接 ,電解拋光處理,潔凈室內真空包裝 。
檢測與潔凈:氦氣檢漏,油污殘留物低于 50mg/m2 。
規格參數:精度方面,40mm 表盤為 3 - 2 - 3%× 滿量程,B 級,符合 ASME B40.1;50mm/63mm 表盤為 2 - 1 - 2%× 滿量程,A 級,符合 ASME B40.1 。量程 -0.1~0 MPa 至 -0.1~0.9 MPa、0~0.1 MPa 至 0~40 MPa(0~15 psi 至 0~6000 psi 或等效壓力單位 )。過程連接尺寸為 9/16 - 18UNF 可旋轉內螺紋或外螺紋 ,連接位置徑向、軸向 ,防護等級 IP 54 EN 60 529/IEC 529 ,尺寸有 40mm、50mm、60mm 。
行業應用:用于高純度氣體輸送系統、氣體控制組件、流程氣體分析儀、半導體等領域。